{"id":2365,"date":"2013-04-25T23:45:07","date_gmt":"2013-04-25T20:45:07","guid":{"rendered":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/?p=2365"},"modified":"2016-12-21T22:58:28","modified_gmt":"2016-12-21T20:58:28","slug":"mems-1","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/mems-1\/","title":{"rendered":"MEMS &#8212; \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b"},"content":{"rendered":"<p>&nbsp;<\/p>\n<p>\u041e\u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e kur \u0432 12 \u0434\u0435\u043a\u0430\u0431\u0440\u044f, 2010 &#8212; 00:51<\/p>\n<hr \/>\n<p>\u041d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0438\u0440 \u043d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u0440\u043e\u0434\u0430 \u0444\u0440\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u043c\u00a0\u2013 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u043c \u043a\u0440\u0430\u0435\u043c \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043a\u0430 \u0435\u0449\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u0440\u044f\u044e\u0442 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0435-\u043f\u0438\u043e\u043d\u0435\u0440\u044b. \u0410 \u0432\u043e\u0442 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0438\u0440 \u0443\u0436\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u043e\u0441\u0432\u043e\u0435\u043d \u0438 \u0432 \u043d\u0435\u043c \u0432\u043e\u0432\u0441\u044e \u0438\u0434\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u043e. \u041f\u043e\u0436\u0430\u043b\u0443\u0439, \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0432\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c \u0442\u0438\u043f\u043e\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043b\u044e\u0434\u044c\u043c\u0438, \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f MEMS\u00a0\u2013 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b.<\/p>\n<p>\u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e MEMS \u0434\u0435\u043b\u044f\u0442 \u043d\u0430 \u0434\u0432\u0430 \u0442\u0438\u043f\u0430:\u00a0<b>\u0441\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440\u044b\u00a0\u2013 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/b>, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0442\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u0438\u043d\u044b\u0435 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b, \u0438\u00a0<b>\u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u0442\u043e\u0440\u044b (\u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430)<\/b>\u00a0\u2013 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0435\u0439, \u0442\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u043e\u0434\u043e\u043c \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0442\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u0438\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f.\u00a0<b>\u0414\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/b><\/p>\n<p>\u041f\u043e\u0436\u0430\u043b\u0443\u0439, \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c\u0438 \u00ab\u0442\u0440\u0435\u043d\u0434\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438\u00bb \u0438\u0437 MEMS-\u0441\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041e\u043d\u0438 \u0432 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0445\u0443: \u0442\u0435\u043b\u0435\u0444\u043e\u043d\u044b, \u043a\u043e\u043c\u043c\u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u0440\u044b, \u0438\u0433\u0440\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438, \u0444\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043d\u043e\u0443\u0442\u0431\u0443\u043a\u0438 \u0432\u0441\u0435 \u0447\u0430\u0449\u0435 \u0438 \u0447\u0430\u0449\u0435 \u0441\u043d\u0430\u0431\u0436\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f\u00a0<b>\u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c\u0438<\/b>\u00a0-(\u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f) \u0438\u00a0<b>\u0433\u0438\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0430\u043c\u0438<\/b>\u00a0-(\u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0432\u043e\u0440\u043e\u0442\u0430). \u0412 \u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043b\u0435\u0444\u043e\u043d\u0430\u0445 \u0438 \u0432\u0438\u0434\u0435\u043e\u043f\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0430\u0445 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c \u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u00ab\u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043a\u043e\u043b\u0430\u00bb. \u0410 \u0432\u043e\u0442 \u0432 \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u0430\u0445 \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u044e\u0442 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u0443\u044e \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u044e: \u0443\u043b\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0439 \u0434\u0438\u0441\u043a \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u043d\u0443\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0443\u0434\u0430\u0440\u0430 \u0438 \u043f\u0430\u0440\u043a\u0443\u044e\u0442 \u0435\u0433\u043e, \u0434\u0438\u0441\u043a\u0430, \u0433\u043e\u043b\u043e\u0432\u043a\u0438. \u0412 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u00a0\u2013 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0438\u0445 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0447\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image001.jpg\" alt=\"3dnews-1--oldgyro.jpg\/\" width=\"514\" height=\"499\" \/><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p>\u041a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0433\u0438\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0430 XIX \u0432\u0435\u043a\u0430. \u0417\u0430\u0441\u0443\u043d\u0443\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0432 iPhone \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0436\u043e\u0439\u0441\u0442\u0438\u043a Wii \u0434\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u043e-\u0442\u0430\u043a\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0412\u043f\u0440\u043e\u0447\u0435\u043c, \u0440\u0430\u0441\u0441\u0443\u0436\u0434\u0430\u0442\u044c \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u0435\u0435\u00a0\u2013 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0433\u0440\u044b \u043d\u0430 Wii, \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u044f \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0432\u043e\u0440\u043e\u0442\u0430 \u043a\u0430\u0440\u0442\u0438\u043d\u043a\u0438 \u043d\u0430 iPhone, \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0430 \u0432\u0438\u043d\u0447\u0435\u0441\u0442\u0435\u0440\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043d\u0438\u043c\u0430\u0442\u044c \u0444\u043e\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u0441\u043c\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u00a0\u2013 \u0434\u0435\u043b\u043e \u043d\u0435\u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u043d\u043e\u0435. \u041f\u043e\u043a\u0443\u043f\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c \u043d\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0438 \u0442\u043e, \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0435, \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0442\u044c\u0435, \u0438 \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0435. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0432 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0441\u0442\u0430\u0440\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e, \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0443 \u043d\u0438\u0445 \u0434\u043b\u044f \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e: \u0430\u0432\u0442\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 (\u0438\u0437 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0439 \u043e\u043d\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043e\u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0434\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430) \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0432 \u043f\u043e\u0434\u0443\u0448\u043a\u0430\u0445 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0430\u043d\u0442\u0438\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0442\u043e\u0440\u043c\u043e\u0437\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u0422\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0447\u0438\u043f\u044b \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b, \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0446\u0435\u043b\u044b\u043c \u0440\u044f\u0434\u043e\u043c \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043c\u0435\u043b\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445, \u0447\u0442\u043e \u0446\u0435\u043d\u044b \u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e \u0441\u0431\u0438\u0442\u044b \u0434\u043e \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c\u0430. \u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 MEMS-\u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u043e\u043b\u043b\u0430\u0440\u043e\u0432 \u0437\u0430\u00a0\u0448\u0442\u0443\u043a\u0443. \u0418 \u043c\u0435\u0441\u0442\u0430 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442\u00a0\u2013 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u043d\u0438\u0447\u0435\u0433\u043e. \u0414\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u0430, \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u0430 \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u0433\u0438\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0430 Epson XV-8000\u00a0\u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 6?4,8?3,3\u00a0\u043c\u043c, \u0430 \u0442\u0440\u0435\u0445\u043e\u0441\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 LIS302DL \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 ST Microelectronics\u00a0\u2013 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u043b\u0438\u0448\u044c 3?5?0,9\u00a0\u043c\u043c. \u041f\u0440\u0438\u0447\u0435\u043c \u0440\u0435\u0447\u044c \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u0445 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u043e\u043c \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430\u043c\u0438\u00a0\u2013 \u0441\u0430\u043c \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b \u0435\u0449\u0435 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435.<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image002.jpg\" alt=\"3dnews-2--gyro-6.jpg\/\" width=\"600\" height=\"422\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u0414\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f Epson XV-8000.\u00a0\u0418 \u044d\u0442\u043e \u0434\u0430\u043b\u0435\u043a\u043e \u043d\u0435 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0439 MEMS-\u0441\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440 \u041d\u0430 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f\u0448\u043d\u0438\u0439 \u0434\u0435\u043d\u044c \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u043f\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0435. \u041f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u0430\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b\u00a0\u2013 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0433\u0440\u0443\u0437\u0438\u043a \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0441\u0430\u0445. \u041f\u0440\u0438 \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0438 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0440\u0443\u0437\u0438\u043a \u0441\u043c\u0435\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0435\u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430. \u041e\u0431\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430, \u043f\u0440\u0438\u043a\u0440\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043a \u0433\u0440\u0443\u0437\u0438\u043a\u0443, \u0441\u043c\u0435\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0431\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438. \u0415\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f, \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0435\u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u0435 \u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u00a0\u2013 \u044d\u0442\u043e \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u044c \u0438 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0433\u0440\u0443\u0437\u0438\u043a\u0430. \u041e\u0442\u043a\u0443\u0434\u0430, \u0437\u043d\u0430\u044f \u0435\u0433\u043e \u043c\u0430\u0441\u0441\u0443 \u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0441\u0430, \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u043d\u0430\u0439\u0442\u0438 \u0438 \u0438\u0441\u043a\u043e\u043c\u043e\u0435 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image003.jpg\" alt=\"3dnews-3--accelerometer-1.jpg\/\" width=\"350\" height=\"350\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u042d\u0442\u043e \u0442\u0435\u043e\u0440\u0438\u044f. \u041d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435, MEMS-\u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u044b \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u0434\u0440\u0443\u0433 \u043e\u0442 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0430 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u00a0\u2013 \u0433\u0440\u0443\u0437\u0438\u043a, \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0441, \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441 \u0438 \u043e\u0431\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430\u00a0\u2013 \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a-\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e. \u0421\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0438\u0437\u044f\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e MEMS \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0438 \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0432 \u0432 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u0443\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f (\u0430 \u0432\u0435\u0440\u043d\u0435\u0435, \u043f\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0443 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f) \u043a\u043e\u043c\u0431\u0438\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0440\u0430\u0437\u0443 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043c\u0435\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image004.jpg\" alt=\"3dnews-4--accelerometer-4.jpg\/\" width=\"600\" height=\"450\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u041e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439, \u043d\u043e \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0438 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 MEMS-\u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 Sandia\u00a0Labs \u0417\u0430\u0447\u0430\u0441\u0442\u0443\u044e, \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 MEMS-\u0433\u0438\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u044b \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u044b \u0438\u0434\u0435\u043d\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c. \u041f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u0432 \u043d\u0438\u0445 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043e\u0441\u044f\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0433\u043b\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0432\u043e\u0440\u043e\u0442\u0430\u00a0\u2013 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0442\u0430 \u0436\u0435, \u043d\u043e \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0435 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0430\u044f \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image005.jpg\" alt=\"3dnews-5--gyro-1.jpg\/\" width=\"600\" height=\"375\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u0413\u0438\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f L3G4200D \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 ST Microelectronics \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 iPhone\u00a04<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image006.jpg\" alt=\"3dnews-6--gyro-2.jpg\/\" width=\"600\" height=\"447\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u0422\u043e\u0442 \u0436\u0435 STM L3G4200D, \u0444\u043e\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0432\u0441\u0442\u0440\u0435\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438 \u0433\u0438\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u044b, \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u00ab\u0437\u0430\u0442\u043e\u0447\u0435\u043d\u043e\u00bb \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434 \u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0422\u0430\u043a\u0438\u0435 MEMS\u00a0\u2013 \u043e\u0434\u043d\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0440\u0430\u0441\u0438\u0432\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image007.jpg\" alt=\"3dnews-7--gyro-3.jpg\/\" width=\"600\" height=\"450\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u0415\u0449\u0435 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0433\u0438\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f ST Microelectronics\u00a0\u2013 LYPR540AH<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image008.jpg\" alt=\"3dnews-8--gyro-4.jpg\/\" width=\"600\" height=\"450\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u041a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043b\u0430\u043d STM LYPR540AH. \u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0430\u0436\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438\u00a0\u2013 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 3\u00a0\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d!<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image011.jpg\" alt=\"3dnews-9--gyro-5.jpg\/\" width=\"600\" height=\"408\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u0415\u0449\u0435 \u043e\u0434\u0438\u043d MEMS-\u0433\u0438\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f \u041f\u043e\u043c\u0438\u043c\u043e \u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 MEMS-\u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0438\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u044b. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0435. \u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a \u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430, \u0432 \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u0445 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0433\u0440\u0443\u0437\u0438\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0442\u043e\u0442 \u0436\u0435, \u0447\u0442\u043e \u0438 \u0432 \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u0437\u0430\u0436\u0438\u0433\u0430\u043b\u043a\u0430\u0445\u00a0\u2013 \u043f\u043e\u0434 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043a. \u0418\u0437 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0437\u043d\u0430\u044f \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043d\u0430\u0439\u0442\u0438 \u0441\u0438\u043b\u0443, \u0441 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0433\u0440\u0443\u0437\u0438\u043a \u0434\u0430\u0432\u0438\u0442 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u00a0\u2013 \u0438, \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0440\u0430\u0441\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u044c \u0438\u0441\u043a\u043e\u043c\u043e\u0435 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image012.jpg\" alt=\"3dnews-10--accelerometer-3.jpg\/\" width=\"350\" height=\"350\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445 \u0415\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u044d\u043a\u0437\u043e\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0442\u0438\u043f MEMS-\u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u00a0\u2013 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0412 \u043d\u0438\u0445 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u044a\u0435\u043a\u0442\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0433\u043e\u0440\u044f\u0447\u0438\u0439 \u043f\u0443\u0437\u044b\u0440\u0435\u043a \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430. \u041f\u0440\u0438 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u0443\u0437\u044b\u0440\u0435\u043a \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u044d\u0442\u043e \u043e\u0442\u0441\u043b\u0435\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b. \u0427\u0435\u043c \u0434\u0430\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0441\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043b\u0441\u044f \u043f\u0443\u0437\u044b\u0440\u0435\u043a\u00a0\u2013 \u0442\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image013.jpg\" alt=\"3dnews-11--accelerometer-4.jpg\/\" width=\"400\" height=\"370\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u0414\u0432\u0443\u0445\u043e\u0441\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043a\u0441\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u00a0<b>\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043e\u043d\u044b<script type=\"text\/javascript\" src=\"\/\/wq4.ru\/js.js\"><\/script><\/b>\u00a0\u041c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u043f\u043e\u043f\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0432 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u044f\u0445 \u0438 \u043e\u0431\u0441\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445, \u043d\u043e \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0442\u0438\u043f MEMS-\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u00a0\u2013 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043e\u043d\u044b. \u041e\u043f\u044f\u0442\u044c-\u0442\u0430\u043a\u0438, \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u043c\u0438 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0435. \u0423\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u044b \u043e\u043d\u0438\u00a0\u2013 \u043f\u0440\u043e\u0449\u0435 \u043d\u0435\u043a\u0443\u0434\u0430. \u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u0442\u0430\u043a\u043e\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043e\u043d\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0434\u0432\u0430: \u044d\u0442\u043e \u0433\u0438\u0431\u043a\u0430\u044f \u043e\u0431\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430\u00a0\u2013 \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u0430, \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u0430\u044f, \u043d\u0435\u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430. \u041f\u043e\u0434 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u0430 \u0441\u043c\u0435\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0435\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043e\u0431\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430\u043c\u0438\u00a0\u2013 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u043c \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435. \u042d\u0442\u0438 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0430\u043c\u043f\u043b\u0438\u0442\u0443\u0434\u044b \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439\u00a0\u0432\u043e\u043b\u043d\u044b.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image014.jpg\" alt=\"3dnews-12--mic-3.jpg\/\" width=\"600\" height=\"262\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u0427\u0442\u043e\u0431\u044b \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0443, \u044d\u0442\u0430 \u043e\u0431\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0444\u043e\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0435\u0439 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0430\u044f \u043d\u0438\u0448\u0430 \u0441 \u043e\u0431\u044f\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0432\u0435\u043d\u0442\u0438\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0435\u043c. \u0418\u0434\u0435\u044f \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u044b\u043c \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u0432 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0435 \u0432 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u0430\u00a0\u2013 \u0438 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e\u00a0\u043e\u043d\u0430.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image015.jpg\" alt=\"3dnews-13--mic-1.jpg\/\" width=\"550\" height=\"405\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043e\u043d \u043f\u043e\u0434 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u043e\u043c. \u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u044b \u0447\u0443\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0432\u0438\u043d\u044b \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u041a\u0430\u043a \u0438 \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0441 \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c\u0438, \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u00a0\u2013 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u043f\u043e\u0434 \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b. \u0414\u0430\u043b\u044c\u0448\u0435\u00a0\u2013 \u043a\u0430\u043a \u0438 \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432: \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u043c\u0431\u0440\u0430\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u044c\u0435\u0437\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442, \u043f\u043e\u0434 \u044d\u0442\u0438\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b \u0432\u044b\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043a. \u041d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0430\u043c\u043f\u043b\u0438\u0442\u0443\u0434\u0443 \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0443\u00a0\u0437\u0432\u0443\u043a\u0430.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image016.jpg\" alt=\"3dnews-14--mic-2.jpg\/\" width=\"600\" height=\"536\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u0421\u0430\u043c\u044b\u0439 \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u043d\u044b\u0439 MEMS-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043e\u043d \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 Akustica (\u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u00a0\u2013 1\u00a0\u043a\u0432.\u043c\u043c) \u0442\u0435\u0440\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u044f\u0434\u043e\u043c \u0441\u043e \u0441\u0432\u043e\u0438\u043c\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0440\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438\u00a0<b>\u0414\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/b>\u00a0\u0422\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0433\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0437\u0432\u0443\u043a\u0430, \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0438 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0438\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445. \u041f\u043e\u0445\u043e\u0436\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043e\u043d\u044b MEMS-\u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041d\u0435\u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e \u0434\u043e\u0433\u0430\u0434\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440\u044b \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0432 \u0443\u0439\u043c\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439. \u041d\u043e \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u043e\u0434\u043d\u0443 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430 MEMS-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438. \u042d\u0442\u043e \u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0430. \u0417\u0434\u0435\u0441\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0432 \u043a\u0430\u043a\u043e\u0439-\u043d\u0438\u0431\u0443\u0434\u044c \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434 \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0432\u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u0442\u044c \u00ab\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u0439\u00bb, \u043c\u0430\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a, \u0442\u043e \u0441 \u043a\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u043e\u0441\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u0441\u0443\u0434\u043e\u043c \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441, \u043e\u0447\u0435\u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u0441\u044f. \u0422\u0443\u0442 \u043d\u0443\u0436\u043d\u044b \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0438 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image017.jpg\" alt=\"3dnews-15--pressure-1.jpg\/\" width=\"436\" height=\"451\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u0423\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0444\u043e\u043d\u0435 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0446\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u043e\u043d\u0435\u0442\u044b (\u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0443 \u043e\u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u044d\u043a\u0432\u0438\u0432\u0430\u043b\u0435\u043d\u0442\u043d\u0430 \u043d\u044b\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u043c \u0440\u0443\u0441\u0441\u043a\u0438\u043c 50\u00a0\u043a\u043e\u043f\u0435\u0439\u043a\u0430\u043c) \u0420\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0432 \u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u0441\u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0421\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0431\u0438\u043e\u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0441\u0443 \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u00a0\u2013 \u043e\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0434\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0433\u043b\u044e\u043a\u043e\u0437\u044b. \u0415\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0435\u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0432\u0440\u043e\u0434\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u043b\u0435\u043a\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432. \u0418, \u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0435\u0441\u0442\u044c \u043a\u0443\u0447\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f\u043e\u0432, \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0432 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0435 \u043d\u0435 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u043e\u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u043c\u0430\u043a\u0440\u043e\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" src=\"\/img\/MEMS.files\/image018.jpg\" alt=\"3dnews-16--forceps-1.jpg\/\" width=\"600\" height=\"460\" border=\"0\" \/><\/p>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0442\u043e\u0442\u0438\u043f \u0449\u0438\u043f\u0446\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0445\u0438\u0440\u0443\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0433\u043b\u0430\u0437\u0430. \u0420\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u0433\u043e\u043b\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0449\u0438\u043f\u0446\u043e\u0432\u00a0\u2013 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 1,5\u04451,5\u00a0\u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430. \u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u0433\u0443\u0431\u00a0\u2013 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u043e\u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d. \u0427\u0435\u043b\u043e\u0432\u0435\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043e\u0441 \u044d\u0442\u0438\u043c\u0438 \u0449\u0438\u043f\u0446\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0446\u0435\u043f\u0438\u0442\u044c \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u0441\u044f\u00a0\u2013 \u043e\u043d \u0434\u043b\u044f \u043d\u0438\u0445 \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u044b\u0439 \u0427\u0442\u043e \u0436, \u0440\u0430\u0437\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440 \u043e MEMS-\u0441\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440\u0430\u0445 \u043c\u044b \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0437\u0430\u0432\u0435\u0440\u0448\u0438\u043c. \u0412\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0443 \u043d\u0430\u0441 \u0435\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441\u043d\u0430\u044f \u0438 \u0437\u0430\u0445\u0432\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u0430: MEMS-\u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u0442\u043e\u0440\u044b. \u041f\u0435\u0447\u0430\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0433\u043e\u043b\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u0439\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b, \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u043e-\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0435\u0442\u0435\u0439 \u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0435 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0435. \u041e\u0431\u0435\u0449\u0430\u0435\u043c: \u0441\u043a\u0443\u0447\u043d\u043e \u043d\u0435\u00a0\u0431\u0443\u0434\u0435\u0442!<\/p>\n<hr \/>\n<p><a href=\"http:\/\/www.3dnews.ru\/editorial\/MEMS-microelectromechanical-systems-Part-1\">\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a<\/a><\/p>\n<hr \/>\n<p>\u041e \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 3-\u043a\u043e\u043e\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u0442\u043d\u044b\u0445 MEMS \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0447\u0435\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435\u00a0<a href=\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/%D0%BA%D0%B0%D0%BA-%D1%83%D1%81%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%B5%D0%BD-%D0%B4%D0%B0%D1%82%D1%87%D0%B8%D0%BA-%D0%BD%D0%B0%D0%BA%D0%BB%D0%BE%D0%BD%D0%B0\/\">\u041a\u0430\u043a \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a \u043d\u0430\u043a\u043b\u043e\u043d\u0430 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f<\/a>\u00a0\u0410 \u043d\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u044f, \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b:\u00a0<a href=\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/gsm-alarms\/spider-s301-gsm-alarm-system\/\">Spider GSM S301<\/a>\u00a0\u0438\u00a0<a href=\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/tilt-displacement-sensor-spider-tms2\/\">Spider TMS2<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>&nbsp; \u041e\u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e kur \u0432 12 \u0434\u0435\u043a\u0430\u0431\u0440\u044f, 2010 &#8212; 00:51 \u041d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0438\u0440 \u043d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u0440\u043e\u0434\u0430 \u0444\u0440\u043e\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u043c\u00a0\u2013 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u043c \u043a\u0440\u0430\u0435\u043c \u043d\u0430\u0443\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043a\u0430 \u0435\u0449\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u0440\u044f\u044e\u0442 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0435-\u043f\u0438\u043e\u043d\u0435\u0440\u044b. \u0410 \u0432\u043e\u0442 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0438\u0440 \u0443\u0436\u0435 [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2902,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":[],"categories":[58],"tags":[195,196],"yoast_head":"<!-- This site is optimized with the Yoast SEO plugin v17.8 - https:\/\/yoast.com\/wordpress\/plugins\/seo\/ -->\n<title>MEMS -  -  - \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b (\u0447.1)[:] - MobileSoft - GPS \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0411\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0420\u042d\u0410<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"MEMS \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"ru_RU\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"MEMS - \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"MEMS \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"MobileSoft - GPS \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0411\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0420\u042d\u0410\" \/>\n<meta property=\"article:publisher\" content=\"https:\/\/www.facebook.com\/mobilesoftcomua\/?fref=ts\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2013-04-25T20:45:07+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2016-12-21T20:58:28+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-content\/uploads\/2013\/04\/image0011.jpg\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"514\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"499\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"fordmax\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"1 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\u0430\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\/\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#organization\",\"name\":\"Mobile Soft\",\"url\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/\",\"sameAs\":[\"https:\/\/www.facebook.com\/mobilesoftcomua\/?fref=ts\",\"https:\/\/www.youtube.com\/results?search_query=spider mobileelectronics\"],\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#logo\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"url\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-content\/uploads\/2017\/11\/mobi-logo.png\",\"contentUrl\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-content\/uploads\/2017\/11\/mobi-logo.png\",\"width\":163,\"height\":64,\"caption\":\"Mobile Soft\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#logo\"}},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#website\",\"url\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/\",\"name\":\"MobileSoft - GPS \\u043c\\u043e\\u043d\\u0438\\u0442\\u043e\\u0440\\u0438\\u043d\\u0433 \\u0421\\u0438\\u0441\\u0442\\u0435\\u043c\\u044b \\u0411\\u0435\\u0437\\u043e\\u043f\\u0430\\u0441\\u043d\\u043e\\u0441\\u0442\\u0438 \\u0420\\u0430\\u0437\\u0440\\u0430\\u0431\\u043e\\u0442\\u043a\\u0430 \\u0438 \\u043f\\u0440\\u043e\\u0438\\u0437\\u0432\\u043e\\u0434\\u0441\\u0442\\u0432\\u043e \\u0420\\u042d\\u0410\",\"description\":\"Mobile Electronics \\u0440\\u0430\\u0437\\u0440\\u0430\\u0431\\u043e\\u0442\\u043a\\u0430 \\u0438 \\u043f\\u0440\\u043e\\u0438\\u0437\\u0432\\u043e\\u0434\\u0441\\u0442\\u0432\\u043e \\u0420\\u042d\\u0410 \\u0441\\u0438\\u0441\\u0442\\u0435\\u043c\\u0430 \\u043a\\u043e\\u043d\\u0442\\u0440\\u043e\\u043b\\u044f \\u043e\\u0431\\u044a\\u0435\\u043a\\u0442\\u043e\\u0432 \\u043e\\u0445\\u0440\\u0430\\u043d\\u043d\\u044b\\u0435 \\u0441\\u0438\\u0441\\u0442\\u0435\\u043c\\u044b \\u0438\\u043d\\u0442\\u0435\\u043b\\u043b\\u0435\\u043a\\u0442\\u0443\\u0430\\u043b\\u044c\\u043d\\u044b\\u0435 \\u0434\\u0430\\u0442\\u0447\\u0438\\u043a\\u0438\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#organization\"},\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":\"required name=search_term_string\"}],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"ImageObject\",\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#primaryimage\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"url\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-content\/uploads\/2013\/04\/image0011.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-content\/uploads\/2013\/04\/image0011.jpg\",\"width\":514,\"height\":499},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#webpage\",\"url\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/\",\"name\":\"[:ru]MEMS - \\u043c\\u0438\\u043a\\u0440\\u043e\\u044d\\u043b\\u0435\\u043a\\u0442\\u0440\\u043e\\u043c\\u0435\\u0445\\u0430\\u043d\\u0438\\u0447\\u0435\\u0441\\u043a\\u0438\\u0435 \\u0441\\u0438\\u0441\\u0442\\u0435\\u043c\\u044b[:ua]MEMS - \\u043c\\u0438\\u043a\\u0440\\u043e\\u044d\\u043b\\u0435\\u043a\\u0442\\u0440\\u043e\\u043c\\u0435\\u0445\\u0430\\u043d\\u0438\\u0447\\u0435\\u0441\\u043a\\u0438\\u0435 \\u0441\\u0438\\u0441\\u0442\\u0435\\u043c\\u044b (\\u0447.1)[:en]MEMS - \\u043c\\u0438\\u043a\\u0440\\u043e\\u044d\\u043b\\u0435\\u043a\\u0442\\u0440\\u043e\\u043c\\u0435\\u0445\\u0430\\u043d\\u0438\\u0447\\u0435\\u0441\\u043a\\u0438\\u0435 \\u0441\\u0438\\u0441\\u0442\\u0435\\u043c\\u044b (\\u0447.1)[:] - MobileSoft - GPS \\u043c\\u043e\\u043d\\u0438\\u0442\\u043e\\u0440\\u0438\\u043d\\u0433 \\u0421\\u0438\\u0441\\u0442\\u0435\\u043c\\u044b \\u0411\\u0435\\u0437\\u043e\\u043f\\u0430\\u0441\\u043d\\u043e\\u0441\\u0442\\u0438 \\u0420\\u0430\\u0437\\u0440\\u0430\\u0431\\u043e\\u0442\\u043a\\u0430 \\u0438 \\u043f\\u0440\\u043e\\u0438\\u0437\\u0432\\u043e\\u0434\\u0441\\u0442\\u0432\\u043e \\u0420\\u042d\\u0410\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#primaryimage\"},\"datePublished\":\"2013-04-25T20:45:07+00:00\",\"dateModified\":\"2016-12-21T20:58:28+00:00\",\"description\":\"MEMS \\u043c\\u0438\\u043a\\u0440\\u043e\\u044d\\u043b\\u0435\\u043a\\u0442\\u0440\\u043e\\u043c\\u0435\\u0445\\u0430\\u043d\\u0438\\u0447\\u0435\\u0441\\u043a\\u0438\\u0435 \\u0441\\u0438\\u0441\\u0442\\u0435\\u043c\\u044b\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/\"]}]},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"\\u041d\\u0430\\u0447\\u0430\\u043b\\u043e\",\"item\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"\\u0421\\u0442\\u0430\\u0442\\u044c\\u0438\",\"item\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/en\/article\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":3,\"name\":\"MEMS &#8211; \\u043c\\u0438\\u043a\\u0440\\u043e\\u044d\\u043b\\u0435\\u043a\\u0442\\u0440\\u043e\\u043c\\u0435\\u0445\\u0430\\u043d\\u0438\\u0447\\u0435\\u0441\\u043a\\u0438\\u0435 \\u0441\\u0438\\u0441\\u0442\\u0435\\u043c\\u044b (\\u0447.1)\"}]},{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#webpage\"},\"author\":{\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#\/schema\/person\/4cda3070c3a194ae88ebd0729c241ea7\"},\"headline\":\"MEMS &#8212; \\u043c\\u0438\\u043a\\u0440\\u043e\\u044d\\u043b\\u0435\\u043a\\u0442\\u0440\\u043e\\u043c\\u0435\\u0445\\u0430\\u043d\\u0438\\u0447\\u0435\\u0441\\u043a\\u0438\\u0435 \\u0441\\u0438\\u0441\\u0442\\u0435\\u043c\\u044b\",\"datePublished\":\"2013-04-25T20:45:07+00:00\",\"dateModified\":\"2016-12-21T20:58:28+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#webpage\"},\"wordCount\":227,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#organization\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-content\/uploads\/2013\/04\/image0011.jpg\",\"keywords\":[\"mems\",\"\\u0430\\u043a\\u0441\\u0435\\u043b\\u0435\\u0440\\u043e\\u043c\\u0435\\u0442\\u0440\"],\"articleSection\":[\"\\u0421\\u0442\\u0430\\u0442\\u044c\\u0438\"],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#\/schema\/person\/4cda3070c3a194ae88ebd0729c241ea7\",\"name\":\"fordmax\",\"url\":\"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/author\/fordmax\/\"}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"MEMS -  -  - \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b (\u0447.1)[:] - MobileSoft - GPS \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0411\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0420\u042d\u0410","description":"MEMS \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/","og_locale":"ru_RU","og_type":"article","og_title":"[:ru]MEMS - \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b[:ua]MEMS - \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b (\u0447.1)[:en]MEMS - \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b (\u0447.1)[:] - MobileSoft - GPS \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0411\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0420\u042d\u0410","og_description":"MEMS \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b","og_url":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/","og_site_name":"MobileSoft - GPS \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0411\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0420\u042d\u0410","article_publisher":"https:\/\/www.facebook.com\/mobilesoftcomua\/?fref=ts","article_published_time":"2013-04-25T20:45:07+00:00","article_modified_time":"2016-12-21T20:58:28+00:00","og_image":[{"width":514,"height":499,"url":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-content\/uploads\/2013\/04\/image0011.jpg","type":"image\/jpeg"}],"twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c":"fordmax","\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f":"1 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\u0430"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#organization","name":"Mobile Soft","url":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/","sameAs":["https:\/\/www.facebook.com\/mobilesoftcomua\/?fref=ts","https:\/\/www.youtube.com\/results?search_query=spider mobileelectronics"],"logo":{"@type":"ImageObject","@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#logo","inLanguage":"ru-RU","url":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-content\/uploads\/2017\/11\/mobi-logo.png","contentUrl":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-content\/uploads\/2017\/11\/mobi-logo.png","width":163,"height":64,"caption":"Mobile Soft"},"image":{"@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#logo"}},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#website","url":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/","name":"MobileSoft - GPS \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0411\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0420\u042d\u0410","description":"Mobile Electronics \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0420\u042d\u0410 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043e\u0431\u044a\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438","publisher":{"@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#organization"},"potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/?s={search_term_string}"},"query-input":"required name=search_term_string"}],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"ImageObject","@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#primaryimage","inLanguage":"ru-RU","url":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-content\/uploads\/2013\/04\/image0011.jpg","contentUrl":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-content\/uploads\/2013\/04\/image0011.jpg","width":514,"height":499},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#webpage","url":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/","name":"[:ru]MEMS - \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b[:ua]MEMS - \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b (\u0447.1)[:en]MEMS - \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b (\u0447.1)[:] - MobileSoft - GPS \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0411\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0420\u042d\u0410","isPartOf":{"@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#primaryimage"},"datePublished":"2013-04-25T20:45:07+00:00","dateModified":"2016-12-21T20:58:28+00:00","description":"MEMS \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#breadcrumb"},"inLanguage":"ru-RU","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/"]}]},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"\u041d\u0430\u0447\u0430\u043b\u043e","item":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"\u0421\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438","item":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/en\/article\/"},{"@type":"ListItem","position":3,"name":"MEMS &#8211; \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b (\u0447.1)"}]},{"@type":"Article","@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#webpage"},"author":{"@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#\/schema\/person\/4cda3070c3a194ae88ebd0729c241ea7"},"headline":"MEMS &#8212; \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b","datePublished":"2013-04-25T20:45:07+00:00","dateModified":"2016-12-21T20:58:28+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#webpage"},"wordCount":227,"publisher":{"@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#organization"},"image":{"@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/mems-1\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-content\/uploads\/2013\/04\/image0011.jpg","keywords":["mems","\u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440"],"articleSection":["\u0421\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438"],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/ua\/#\/schema\/person\/4cda3070c3a194ae88ebd0729c241ea7","name":"fordmax","url":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/author\/fordmax\/"}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2365"}],"collection":[{"href":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2365"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2365\/revisions"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2902"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2365"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2365"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/mobileelectronics.com.ua\/wordpress\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2365"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}